产品介绍
μsurf 系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD 的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘
取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确
量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下
测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由
于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体
高度，建立3D 立体影像，优势相当明显。
NanoFocus μsurf mobile 移动式3D 测量系统，适用于对大型样品的测量，所以可以在
很多恶劣的环境下进行使用，并且不会影响到使用寿命。当人们还在为测量物体太过于庞大
而一筹莫展时，μsurf mobile 移动式3D 测量系统的横空出世彻底解决了人们的这个困惑，
该机台不需要移动庞大的被测物体，只需要带着便捷的μsurf mobile，放在被测物体上，就
可以在短时间内得出精确的三维表面形貌。
?? 应用
μsurf 系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D 表面形貌、
2D 的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile 主要对
大型样品进行测试，在以下几个行业中被众多知名企业广泛使用：
?? 汽车行业
?? 印刷和造纸行业
?? 钢铁行业
?? 技术参数
LED 光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10 秒
测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体
X/Y 方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y 方向分辨率：0.3μm
Z 方向移动范围：35mm
Z 方向测量范围：250μm，Z 方向分辨率：< 10nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能
工作电源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用电池做电源）
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：380*110*115mm
重量：5.5KG（不含防震拉杆箱）
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
设备咨询联系人:
Ronnie Chen +86-21-13651969369 +86-21-61533166 ronniechen@nanofocus.com.cn